- метод проекционной литографии
- projection technique
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
метод проекционной литографии
Look at other dictionaries:
Электронная литография — или электронно лучевая литография метод нанолитографии с использованием электронного пучка. Остросфокусированный электронный пучок, отклоняемый магнитной системой, прорисовывает нужные конфигурации на поверхности чувствительного к… … Википедия
